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独家采购公示
一、采购人：点击登录查看 MEMS 研究中心
二、项目名称：晶圆输送矩形阀采购
三、采购内容：晶圆输送矩形阀采购
四、采购预算：9 万元
五、独家采购的说明：
1. 因 MEMS 研究中心开展低温成膜设备研究项目的需要，计划定制化并采购“晶圆输送矩形阀”，用于该设备的装配。
2. 本次采购的“晶圆输送矩形阀”是根据需求图纸定制，主要指标包括
| 耐压性能 | 正向压力型，最大操作压差≤1.3x10-3Pa(开阀方向) |
| 材料 | 阀体/阀盖:A5052 或 A6061 铝合金，波纹管:AM350 不锈钢，密封件:FKM 氟橡胶 |
| 温度范围 | 阀体/阀座:≤90℃，驱动部:≤60℃，密封块:≤50℃ |
| 泄漏率 | 阀体氦检漏率≤4.0x10-11 Pa·m3/s，阀座氦检漏率≤1.3x10-19 Pa·m3/s |
| 压缩空气压力 | 0.5~0.6 MPa(干燥无油) |
| 寿命 | 1.0x106次循环，0 型圈更换周期:1~3x105次 |
| 开尺寸 | 180 mm*46 mm |
根据以上要求展开调研工作，仅有“无锡启知迪微电子科技有限公司”代理的“VTEX 品牌”的方案可以完全符合我方要求。
3.“无锡启知迪微电子科技有限公司”已与实验室签署保密协议，我方的需求与设计图纸为该代理公司委托原厂设计、对接，因此出于双方保密的需求(我方与厂家均需保密)图纸不可随意外传给其他厂家进行报价。
4.VTEX 成立于 1949 年，是一家专业致力于高品质阀门生产的厂家，其一直贯彻着阀门的设计、开发和生产。VTEX 经营的主要产品有作为硅晶片的出入口的真空腔体和真空腔体之间、或者是与大气之间的隔离用矩形传输阀，和真空腔体与真空泵之间的摆阀，产品口径从小到大都可以对应，并且根据客户需求进行精细化定制。而无锡启知迪微电子科技有限公司成立于 2024 年，作为 VTEX 在中国的一级代理，其经验、技术和品质值得信赖。因此，无锡启知迪微电子科技有限公司代理的 VTEX 品牌的晶圆输送矩形阀性能，及其技术与服务可以完全满足我方要求，故实行独家采购。
六、拟成交供应商信息：无锡启知迪微电子科技有限公司
地址：无锡市****
七、公示期限：从 2025 年 04月 28日至 2025 年 05月 07日止。
八、对本次采购提出异议，请按以下方式联系：
对公示内容有异议的，可在公告期内以有效形式提出：
联系人：陈老师
联系方式：0574-8626 1579
联系邮箱：****@ylab.ac.cn
投诉联系人：朱老师
投诉联系方式：0574-8628 1299
投诉联系邮箱：****@ylab.ac.cn
信息来源：https:****
